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- [发明专利]光刻机及应用于光刻机中的工件台系统-CN201210189355.0有效
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陈文枢;王天明
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上海微电子装备有限公司
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2012-06-08
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2013-12-25
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G03F7/20
- 本发明公开了一种光刻机，包括：掩模台、投影物镜、照明系统、测量框架、基础框架以及工件台系统，照明系统将掩模版上的图像经过投影物镜投射在硅片或基版上，掩模台安装于测量框架上，掩模台的反作用力通过掩模台反力支架外引至基础框架上，测量框架通过测量框架减振器安装于基础框架上，工件台系统包括用于工件台、工件台减振器、工件台反力外引结构以及工件台安装底座，工件台通过工件台减振器安装于工件台安装底座上，工件台安装底座可拆卸的安装于基础框架上，工件台采用工件台反力外引结构将工件台的反作用力外引至基础框架。本发明可有效隔离基础框架和工件台之间的相互影响，能简化结构并可以便于实现工件台的安装和维护。
- 光刻应用于中的工件系统
- [实用新型]三钻三攻旋转式钻攻机-CN201922370819.8有效
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张田
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深圳市贝贝特科技实业有限公司
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2019-12-24
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2020-08-28
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B23P23/02
- 本实用新型公开了一种三钻三攻旋转式钻攻机，包括钻孔机、攻牙机、工件固定台、液体喷射器、工作台和工件台，工件台安装在工作台的中间，三台钻孔机和三台攻牙机围绕工件台间隔均匀的安装在工作台上，工件固定台和液体喷射器安装在任意两台钻孔机和攻牙机之间，加工工件时，工件固定台将工件固定住，三台钻孔机在工件上钻孔，钻完孔之后工件固定台回退，然后工件台将工件旋转一定的角度之后工件固定台再将工件固定住，三台攻牙机在开始工作，在加工的过程中，液体喷射器向工件喷射液体，加工完之后工件固定台松开取出产品。本实用新型提供的三钻三攻旋转式钻攻机在加工工件时不需要轮换工作台，加工效率高。
- 三钻三攻旋转式钻攻机
- [发明专利]工件台-CN201110191799.3有效
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陈军;袁志扬;秦磊
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上海微电子装备有限公司
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2011-07-08
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2013-01-09
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G03F7/20
- 本发明提出一种工件台，包括第一承片台、第一X向线缆、第一Y向线缆、第一Y向滑台、第二Y向滑台和第一线缆交换装置。第一X向线缆的一端固定在工件台上。第一Y向线缆的一端固定在第一承片台上。第一Y向滑台选择性地连接于第一承片台，以带动第一承片台沿Y向移动。第二Y向滑台选择性地连接于第一承片台，以带动第一承片台沿Y向移动。第一线缆交换装置连接第一X向线缆和第一Y向线缆的另一端，选择性地跟随第一Y向滑台或第二Y向滑台沿Y向运动。本发明提出的工件台可极大地减小电缆、管路等配套设施工作过程中产生的扰动对工件台运动定位精度的影响，缩短双台交换的时间，提高光刻生产效率。
- 工件
- [发明专利]工件台-CN201110060978.3有效
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袁志扬;陈军
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上海微电子装备有限公司
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2011-03-15
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2012-09-19
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G03F7/20
- 本发明提出一种工件台，包括基座、安装底板、承片台、第一永磁体、第二永磁体、水平向电机和垂向电机。安装底板设置在基座上方。承片台悬浮于安装底板上方。多个第一永磁体分别在安装底板的上表面与承片台的下表面，提供相斥的磁力，形成一定的垂向磁浮间隙。多个第二永磁体分别在安装底板与承片台的侧面，提供相斥的磁力，形成一定的侧向磁浮间隙。多个水平向电机安装在安装底板与承片台上，提供承片台在X、Y、Rz向的微动。多个垂向电机安装在安装底板与承片台上，提供承片台在Rx、Ry、Z向的微动。本发明提出的工件台具有六自由度方向的高精度运动，控制系统设计简单。
- 工件
- [实用新型]工件台-CN202321183050.9有效
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王景宇;张利;刘少华;田丽
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北京华卓精科科技股份有限公司
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2023-05-16
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2023-10-20
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B23Q1/01
- 本实用新型涉及精密加工与检测技术领域，具体而言，涉及一种工件台。工件台包括粗动台、微动台和基台；基台上设有磁钢阵列组件，微动台通过多个磁悬浮重力补偿装置浮于粗动台之上，磁悬浮重力补偿装置包括磁悬浮动子和磁悬浮定子，磁悬浮动子与微动台固定连接，磁悬浮定子与粗动台固定连接；多个磁悬浮重力补偿装置相对微动台的质心对称排布，并分别位于磁钢阵列组件产生的磁场的磁场方向和磁场强度均相同的位置，且磁悬浮动子的充磁方向相同。本实用新型提供的工件台，微动台不易受到来自磁悬浮重力补偿装置的旋转扰动，从而，可提高微动台的精度。
- 工件
- [实用新型]一种卧式工件加工设备-CN202122196931.1有效
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张仁坑
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泉州闽延石材机械有限公司
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2021-09-13
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2021-10-08
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B28D1/04
- 本实用新型涉及一种卧式工件加工设备，包括工件台、安装梁、安装座、加工部以及跟刀架，工件台用于安置工件，安装梁邻近工件台设置，安装座可移动地装配于安装梁，加工部设于安装座，加工部用于加工安置于工件台的工件上述跟刀架设于上述安装座，跟刀架随安装座移动设置，跟刀架延伸至上述工件台所在位置设置。每一上述跟刀架均附设有至少一个支撑部，支撑部位于上述工件的周向外沿外设置，支撑部的支撑端朝向工件所在位置延伸且与工件的周向外沿邻接设置。该卧式工件加工设备加工精度更高，其加工的工件成品质量更佳。
- 一种卧式工件加工设备
- [实用新型]一种小工件等离子喷涂生产线-CN202120261530.7有效
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黄早早
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华德星科技（苏州）股份有限公司
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2021-01-29
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2022-02-01
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B05B16/20
- 本实用新型涉及等离子喷涂技术领域，尤其涉及一种小工件等离子喷涂生产线，它包括工件安装台，喷砂装置，清砂装置，喷涂装置和冷却装置，所述喷砂装置，清砂装置，喷涂装置和冷却装置环设在工件安装台周围，所述工件安装台包括支架和转台，所述转台转动安装在支架上，且包括底板，隔板和凸台，所述底板水平设置，与支架转动连接，且顶面上固装凸台，位于凸台以外的底板为待喷涂工件安装区域，所述隔板边缘分别与底板和凸台密封连接，将待喷涂工件安装区域分隔成若干个工件安装区本产品的优点是：通过合理排布喷涂的设备以及工件安装台，减小设备占地面积，提升集成化程度，有助于提升生产效率。
- 一种工件等离子喷涂生产线
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